| 品牌 | MEIVAC(明电舍) | 型号 | SCV-155M、SCV-510M、SCV-514M | 介质材料 | 真空 |
| 应用范围 | 高频消振 | 外形 | 圆柱形 | 功率特性 | 大功率 |
| 频率特性 | 超高频 | 调节方式 | 固定 | 引线类型 | 无引线 |
| 允许偏差 | ±20（%） | 耐压值 | 3000（V） | 等效串联电阻(ESR) | --（mΩ） |
| 标称容量 | 500-4000pf（uF） | 损耗 | -- | 额定电压 | 35000（V） |
| 绝缘电阻 | --（mΩ） | 温度系数 | -- |
规格
形式 |
SCV-155M |
SCV-510M |
SCV-514M |
高峰试验电压[kVp] |
15 |
5 |
5 |
静电容量[pF] |
50-500 |
50-1000 |
90-1400 |
RF动作电压[kVp] |
9 |
3 |
3 |
直线可变性(pF/N) |
42±4 |
88±6 |
115±8 |
转速（回） |
12±1 |
12±1 |
12±1 |
最大容许电流[Arms] |
100 |
100 |
100 |
回转转矩（N?cm） |
24.5 |
24.5 |
24.5 |
重量（kg） |
1.3 |
1.35 |
1.4 |
真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路
近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗
整合应用领域。
真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电
流低扭矩型（H系列）。
标准型特点
1 寿命长
采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉
构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。
